日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

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愛發科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制

程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運行，由于具有優異的抗靜態和動態內應力能力，所以泵能

提供更強的安全性。

真空泵不良現象及原因分析

1、不良現象：真空泵運行過載報警。

2、原因分析：

經對真空泵進行拆解， 發現以下幾個問題點：

不良現象 原因分析

（1）轉子軸套部磨損：

因軸承磨損導致轉子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內齒輪箱內積碳：

因泵軸承損壞，轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。

(4)軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

(5)軸套磨損:

因高溫運行，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。

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