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              愛德華EPX180L半導體真空泵維修保養

              簡要描述:

              愛德華EPX180L半導體真空泵維修保養:干式渦旋真空泵維修,主要更換配件,軸承,真空泵油,O型圈等。專業維修EPX180L半導體真空泵,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

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              更新時間:2022-06-15

              產品價格:

              產品廠地:東莞市

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              愛德華EPX180L半導體真空泵維修保養
              品牌Edwards/英國愛德華輸送介質其他
              泵軸位置其他葉輪數目其他
              應用領域化工,能源,電子,制藥,電氣


              愛德華EPX180L半導體真空泵維修保養

              新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保

              護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

              IPX 系列,可提供的性能,與 EPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

              應用:

              EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

              EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

              功能和優勢

              緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級

              道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

              低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可化功率效率。

              的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

              超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

              脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

              非??煽縀PX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,程度地延長了

              泵的使用壽命。

              可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

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              愛德華真空泵是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中*的部分,應用于日益多范圍化的工業過

              程,包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學;適用于科學儀器和許多研發應用。

              東莞比其爾真空泵保養維修:為客戶提供長期真空泵技術咨詢與指導,綜合維修保養、部件維修保養、預防性維修保養、

              現場服務等售后服務項目。擁有專業的進口真空泵維修車間,配件充足/維修速度快/提供備用機/

              延長質保.

              服務細節:您一旦下訂單,我們將會與您商定安裝日期。我們提供的系統調試步驟包括:正確組裝,全盤考慮所有必要的

              技術性能檢測(若適用)的管道連接根據現場供應情況安裝電氣設備(包括傳感器和控制系統集成(若有))正確加滿潤

              滑油(如有需要)試運行,檢查并記錄輸出數據為操作人員提供系統操作培訓:指導檢測:公司擁有進口檢測設備與專業技

              術,提供質量穩定,確保維修過后達到的真空度和穩定性能,確??蛻羯a安全無憂。我們的真空可以根據您在真空泵中

              的需求,提供準確、全面和快速的響應和支持。

              愛德華EPX180L半導體真空泵維修保養


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